根据GB50073-2013《洁净厂房设计规范》来看可分为九个等级，而我们常说的五个等级洁净厂房为4-8级（相对于ISO Class4-Class8），即：十级、百级、千级、万级、十万级，这些都是目前应用广泛的洁净等级。详细介绍如下：
十级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
百级：人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。认为是最常用且最重要的。其实100级无尘室可用于植入体内物品的制造，外科手术包括移植手术集成器的制造。
千级：这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品、飞机蛇螺仪、高质微型轴承等。
万级：主要用于液压设备、气压设备和食品饮料工业的装配，此外万级无尘车间在医工业中也很常用。
十万级：这个用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。